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                                              Hardness Tester English
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                                              PECVD开启式管式炉系统
                                              关 键 词:PECVD系统,真空镀膜、纳米薄膜材料制备
                                              PECVD开启式管式炉系统在真空压力下,加在电感线圈?#32435;?#39057;电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。
                                              型       号:PECVD-1200
                                              品       牌:钜晶
                                              发货周期:1-5个工作日
                                              接受订制:可按要求定制
                                              浏览?#38382;?span class="red">
                                              PECVD系统系?#26657;?/div>
                                              销售咨询:
                                              销售热线:400-021-5550
                                              招商专线:13818702256
                                              总 机:021-51696069
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                                              在真空压力下,加在电感线圈?#32435;?#39057;电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)

                                              PECVD开启式管式炉系统由开启式管式炉、高真空分子泵系统、射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择。

                                              主要功能和特点:

                                              1PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等;

                                              2PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;

                                              3、借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成等离子体,而等离子体化学活?#38498;?#24378;,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;

                                              4、高真空系统由双级旋片真空泵和分子?#31859;?#25104;,最高真空可达0.001Pa

                                              5、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实?#21046;?#20307;的流量的精密测量和控制;

                                              6、每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全?#38498;?#36830;续均匀性;

                                              7、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;

                                              8、管路采用世界顶级Swagelok卡套连接,不漏气;

                                              9、超温、过压?#20445;?#33258;动?#21368;?#21152;热电源及流量计进气,使用安全可靠。

                                              主要用途:

                                              高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,?#37096;?#20316;为扩展等离子清洗刻?#35789;?#29992;。

                                              技术?#38382;?/span>

                                              SKGL-1200

                                              开启式管式炉

                                              控温方式

                                              采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。

                                              加热元件

                                              0Cr27Al7Mo2

                                              工作电源

                                              AC220V 50Hz/60Hz

                                              额定功率

                                              4kw

                                              炉管材质

                                              高纯石英管

                                              炉管尺寸

                                              Φ60/Φ80*1200mm

                                              工作温度

                                              1150

                                              最高温度

                                              1200

                                              恒温精度

                                              ±1

                                              恒温区

                                              200mm

                                              升温速度

                                              10/min

                                              密封方式

                                              不锈钢快速法?#25216;费?#23494;封

                                              ZK-F

                                              分子泵真空系统

                                              真空?#27573;?/span>

                                              0.1-0.001Pa

                                              极限真空

                                              4.0*10^-4Pa

                                              产品配置

                                              双级旋片真空泵+分子泵

                                              测量方式

                                              复合真空计

                                              真空规管

                                              电阻规+电离规

                                              冷却方式

                                              风冷

                                              工作电源

                                              AC220V 50/60HZ

                                              抽速

                                              110L/S

                                              射频电源系统

                                              射频功率输出?#27573;?/span>

                                              5~500W

                                              射频频率

                                              13.56MHz±0.005%

                                              噪声

                                              55DB

                                              冷却方式

                                              风冷

                                              功率温定度

                                              ± 0.1%

                                              HQZ-

                                              混气系统

                                              流量规格

                                              0200sccm (可根据客户需要配置)

                                              线性

                                              ±1.5%F.S

                                              准确度

                                              ±1.5%F.S

                                              重复精度

                                              ±0.2%F.S.

                                              响应时间

                                              8sec

                                              耐压

                                              3MPa

                                              气路通道

                                              4通道(根据客户需求)

                                              针阀

                                              316不锈钢

                                              管道

                                              Φ6mm不锈钢管

                                              接口

                                              SwagelokΦ6mm





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