<address id="rtmx5"></address>

<th id="rtmx5"><progress id="rtmx5"></progress></th>

      <dl id="rtmx5"></dl>

          <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

          <div id="rtmx5"></div>

          <dl id="rtmx5"></dl>

                <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

                    
                    

                      <form id="rtmx5"></form>

                        <em id="rtmx5"></em>

                          <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>

                                  <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>

                                      <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                      <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl><div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></div>

                                        <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>
                                        <dl id="rtmx5"></dl> <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl>

                                          <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                          <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                          <em id="rtmx5"></em>

                                          <sup id="rtmx5"><menu id="rtmx5"></menu></sup>

                                            <div id="rtmx5"></div>
                                              <div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"><mark id="rtmx5"></mark></ol></div>
                                              Hardness Tester English
                                                中文版   |   English  
                                              全国免费咨询热线400-021-5550      
                                              PECVD开启式管式炉系统
                                              关 键 词PECVD系统真空镀膜纳米薄膜材料制备
                                              PECVD开启式管式炉系统在真空压力下加在电感线圈?#32435;?#39057;电场使反应室气体发生辉光放电在辉光发电区域产生大量的电子这些电子在电场的作用下获得充足的能量其本身温度很高它与气体分子相碰撞使气体分子活化它们吸附在衬底上并发生化学反应生成介质膜副产物从衬底上解吸随主气流由真空泵抽走称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)
                                              型       号PECVD-1200
                                              品       牌钜晶
                                              发货周期1-5个工作日
                                              接受订制可按要求定制
                                              浏览?#38382;?span class="red">
                                              PECVD系统系?#26657;?/div>
                                              销售咨询
                                              销售热线400-021-5550
                                              招商专线13818702256
                                              总 机021-51696069
                                              产品咨询
                                              发表咨询
                                              声明您所咨询问题我们有专人进行回复其他网友仅供参考咨询回复的工作时间为周一至周五8:00至17:00请耐心等待工作人员回复
                                              姓名
                                              电话*
                                              公司
                                              邮箱
                                              技术?#38382;?/div>
                                              实物照片
                                              售后保障
                                              资料下载
                                              视频展示

                                              在真空压力下加在电感线圈?#32435;?#39057;电场使反应室气体发生辉光放电在辉光发电区域产生大量的电子这些电子在电场的作用下获得充足的能量其本身温度很高它与气体分子相碰撞使气体分子活化它们吸附在衬底上并发生化学反应生成介质膜副产物从衬底上解吸随主气流由真空泵抽走称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)

                                              PECVD开启式管式炉系统由开启式管式炉高真空分子泵系统射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成是实验室生长薄膜石墨烯金属薄膜陶瓷薄膜复合薄膜等的理想选择

                                              主要功能和特点

                                              1PECVD具有基本温度低沉积速率快成膜质量好针孔较少不易龟裂等

                                              2PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应

                                              3借助射频等使含有薄膜组成原子的气体在局部形成等离子体而等离子体化学活?#38498;?#24378;很容易发生反应在基片上沉积出所期望的薄膜

                                              4高真空系统由双级旋片真空泵和分子?#31859;?#25104;最高真空可达0.001Pa

                                              5数字质量流量控制系统是由多路质量流量计流量显示仪等组成实?#21046;?#20307;的流量的精密测量和控制

                                              6每条气体管路均配备高压逆止阀保证系统的安全?#38498;?#36830;续均匀性

                                              7采用KF快速法兰密封装卸方便快捷

                                              8管路采用世界顶级Swagelok卡套连接不漏气

                                              9超温过压?#20445;?#33258;动?#21368;?#21152;热电源及流量计进气使用安全可靠

                                              主要用途

                                              高校科研院所用于真空镀膜纳米薄膜材料制备生长薄膜石墨烯金属薄膜陶瓷薄膜复合薄膜等?#37096;?#20316;为扩展等离子清洗刻?#35789;?#29992;

                                              技术?#38382;?/span>

                                              SKGL-1200

                                              开启式管式炉

                                              控温方式

                                              采用人工智能调节技术具有PID调节自整定功能并可编制30段升降温程序

                                              加热元件

                                              0Cr27Al7Mo2

                                              工作电源

                                              AC220V 50Hz/60Hz

                                              额定功率

                                              4kw

                                              炉管材质

                                              高纯石英管

                                              炉管尺寸

                                              60/80*1200mm

                                              工作温度

                                              1150

                                              最高温度

                                              1200

                                              恒温精度

                                              1

                                              恒温区

                                              200mm

                                              升温速度

                                              10/min

                                              密封方式

                                              不锈钢快速法?#25216;费?#23494;封

                                              ZK-F

                                              分子泵真空系统

                                              真空?#27573;?/span>

                                              0.1-0.001Pa

                                              极限真空

                                              4.0*10^-4Pa

                                              产品配置

                                              双级旋片真空泵+分子泵

                                              测量方式

                                              复合真空计

                                              真空规管

                                              电阻规+电离规

                                              冷却方式

                                              风冷

                                              工作电源

                                              AC220V 50/60HZ

                                              抽速

                                              110L/S

                                              射频电源系统

                                              射频功率输出?#27573;?/span>

                                              5~500W

                                              射频频率

                                              13.56MHz0.005%

                                              噪声

                                              55DB

                                              冷却方式

                                              风冷

                                              功率温定度

                                              0.1%

                                              HQZ-

                                              混气系统

                                              流量规格

                                              0200sccm 可根据客户需要配置

                                              线性

                                              1.5%F.S

                                              准确度

                                              1.5%F.S

                                              重复精度

                                              0.2%F.S.

                                              响应时间

                                              8sec

                                              耐压

                                              3MPa

                                              气路通道

                                              4通道根据客户需求

                                              针阀

                                              316不锈钢

                                              管道

                                              6mm不锈钢管

                                              接口

                                              Swagelok6mm





                                              上海钜晶精密仪器制造有限公司沪ICP备16025132号 沪公网安备 31011402001571号
                                              Ʊֲͼ
                                              <address id="rtmx5"></address>

                                              <th id="rtmx5"><progress id="rtmx5"></progress></th>

                                                  <dl id="rtmx5"></dl>

                                                      <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

                                                      <div id="rtmx5"></div>

                                                      <dl id="rtmx5"></dl>

                                                            <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

                                                                
                                                                

                                                                  <form id="rtmx5"></form>

                                                                    <em id="rtmx5"></em>

                                                                      <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                                                            <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>

                                                                              <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>

                                                                                  <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                                                                  <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl><div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></div>

                                                                                    <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>
                                                                                    <dl id="rtmx5"></dl> <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl>

                                                                                      <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                                                                      <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                                                                      <em id="rtmx5"></em>

                                                                                      <sup id="rtmx5"><menu id="rtmx5"></menu></sup>

                                                                                        <div id="rtmx5"></div>
                                                                                          <div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"><mark id="rtmx5"></mark></ol></div>
                                                                                          <address id="rtmx5"></address>

                                                                                          <th id="rtmx5"><progress id="rtmx5"></progress></th>

                                                                                              <dl id="rtmx5"></dl>

                                                                                                  <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

                                                                                                  <div id="rtmx5"></div>

                                                                                                  <dl id="rtmx5"></dl>

                                                                                                        <em id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></em>

                                                                                                            
                                                                                                            

                                                                                                              <form id="rtmx5"></form>

                                                                                                                <em id="rtmx5"></em>

                                                                                                                  <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                                                                                                        <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>

                                                                                                                          <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>

                                                                                                                              <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                                                                                                              <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl><div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"></ol></div>

                                                                                                                                <sup id="rtmx5"><meter id="rtmx5"></meter></sup>
                                                                                                                                <dl id="rtmx5"></dl> <dl id="rtmx5"><ins id="rtmx5"></ins></dl>

                                                                                                                                  <div id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></div>
                                                                                                                                  <progress id="rtmx5"><tr id="rtmx5"></tr></progress>
                                                                                                                                  <em id="rtmx5"></em>

                                                                                                                                  <sup id="rtmx5"><menu id="rtmx5"></menu></sup>

                                                                                                                                    <div id="rtmx5"></div>
                                                                                                                                      <div id="rtmx5"><ol id="rtmx5"><mark id="rtmx5"></mark></ol></div>